세정이란
코미코의 세정은 고객사 공정 중 발생된 장비 부품의 Particle, 이온 불순물 등 오염물을 제거하는 공정입니다. 또한 손상된 부품 표면을 각 공정조건에 맞도록 유지·관리하고, 모재의 손상을 최소화하며 공정 오염물을 제거하는 등 제품 수명 증가, Uniformity 개선, 미세오염을 제어할 수 있도록 다양한 솔루션을 제공하고 있습니다.
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- PhaseⅠ세정 초기 단계
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국내 최초 반도체 부품 세정 기술 도입
재질별, 공정별 정밀 세정
물리적 세정 기술 개선 →
CO2 Cleaning, Bead, Arc Coating0.3 ㎛ Size P/C 제어
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- PhaseⅡ제품 표면처리 최적화
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다양한 물리적 세정 기술 향상 →
고객사의 다양한 Needs에 적합한 표면 개선 대응다양한 기능의 제품 & 복합 소재의 제품 세정
세정 공정의 정확성
0.1㎛ Size P/C 제어
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- PhaseⅢNano 세정 기술 도입
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표면 처리 최적화 → 공정 수율 개선
제품의 표면적 증가를 통한 P/C Source 감소
세정 공정의 정확성 → 품질 경영 시스템 도입
0.04㎛ Size P/C 제어
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- Phase ⅣNano 세정 기술의 발전
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SMART Factory – Automation
제품별 Flexible Recipe 적용
미세 공정 컨트롤 → 고객사 공정 Defect 감소
친환경 세정기술 발달
제품 수명 증가, Delivery Time 감소
0.01um Size P/C 제어
