코팅이란
코팅은 장비 부품표면에 특수코팅 처리를 통하여 공정조건 안정과 제품의 수명을 연장시킬 수 있는 필수적인 공정입니다. 고객사 공정에 최적화된 다양한 종류의 코팅기술을 제공하여 파티클 발생과 표면 손상을 억제하고 챔버의 조건을 안정시킴으로써 제품의 수명 연장 및 생산수율, 가동율이 향상되어 고객사의 원가절감에 이바지하고 있습니다.
코팅기술의 종류
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Anodizing (양극 산화 코팅)Anodizing
(양극 산화 코팅)알루미늄(Al)과 산소(O)의 전기 화학 반응을 통해 알루미늄 표면에 단단한 산화 알루미늄 피막(Al2O3)을 형성하는 기술
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Thermal Spray Coating (용사 코팅)Thermal Spray Coating
(용사 코팅)열을 이용하여 코팅물질을 용융시켜 부품 표면에 분사하여 코팅막을 형성하는 기술
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대기 조건에서 고온의 플라즈마를 이용하여 코팅하고자 하는 물질을 순간적으로 용융 / 분사하여 제품 표면에 형성
일반적으로 세라믹 분말 코팅에 적합 (Al2O3, Y2O3, etc.)
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전기 방전을 이용하여 녹는점이 낮은 코팅 소재를 순간적으로 용융 / 분사하여 제품에 막을 형성하는 기술
녹는점이 낮은 메탈 소재 코팅에 적합 (Aluminum)
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Aerosol Deposition (에어로졸 증착)Aerosol Deposition
(에어로졸 증착)진공 환경에서 ㎚ ~ ㎛ 크기의 미세 입자를 별도의 용융 과정 없이 아주 빠른 속도로 제품 표면에 충돌 시켜 기공이 없는 고밀도 코팅막을 형성 하는 기술
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Physical Vapor Deposition (물리적 기상 증착)Physical Vapor Deposition
(물리적 기상 증착)코팅막과 같은 재료를 진공 중에서 물리적인 방법 (증발, 스퍼터링)으로 기화시켜 제품 표면에 고밀도 코팅막을 형성하는 기술
