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주요사업

ICP-MS

Chemical Analysis

Metal Ion
ICP-MS
제조사
Agilent
모델명
7700s
ICP (유도결합 플라즈마, Inductively Coupled Plasma)
원자열의 증발과 이온화를 달성하기 위해 고온 플라즈마를 생성하는 기술
MS (질량분석기, Mass Spectroscope)
화합물의 이온화를 통해 특정 질량을 가진 이온들의 수를 검출하는 방법
ICP-MS
  • STEP. 01

    Sample Prep. & Sample Intro in Nebulizer & Spray-Chamber

    분석 액체 시료 준비 & 액체 시료로 부터 미세한 에어로졸 만드는 시료 주입 시스템

  • STEP. 02

    Ion Source (ICP) in Torch Box

    ICP torch 내부 Ar gas 주입 및 RF field에 의한 Ar atoms의 충돌을 통한 고 에너지 플라즈마 생성
    고 에너지 플라즈마 (6000 – 10000 K)에 의한 에어로졸 시료 이온화

  • STEP. 03

    Focus & Separate in Ion Lens

    이온화 시료 Focusing & neutron, photon Separation from Background Signal

  • STEP. 04

    Collusion & Reaction in ORS

    간섭 이온에서 분석물질 이온을 분리하는 물리 화학적 반응

  • STEP. 05

    Mass Filter in Mass Spectroscope

    질량 분석기 내부에서 질량 기준으로 분석물질 이온 필터링

  • STEP. 06

    Detector in DDEM(Discrete Dynode Electron Multiplier)

    다이노드/이온의 연쇄 충돌 반응을 통한 전자 신호 증폭 검출기

  • STEP. 07

    Data Analysis

    “표준물질” 검량곡선과 비교해 정성/정량 분석 진행

Nebulizer
low sample flow rate (~0.2mL/min)
Argon gas supply
Minimum purity 99.99%, Maximum flow rate : 20 L./min
Spray Chamber
Controlled temperature range (-5 ℃ to +20 ℃)
Plasma
RF Power Range : 500 W to 1600 W
Interface
Sampling cone (Pt-tipped with Cu base), Skimmer cone (Pi-tipped)
Mass Analyzer
High frequency (3 MHz), Mass Range (2 – 260 amu)
Resolution
Variable from < 0.3 amu to 1.0 amu
Sensitivity (Mcps/ppm)
Li (7) : 50
Co (59) : 30 (cool plasma)
Y (89) : 240
TI (205) : 120
He Mode Detection Limits (ppt)
As (75) : 20
Se (78) : 40
Sample Size
Minimum Sample Volume Required for Analysis 10ml per analysis
공인 / 비공인 규격번호 규격명 시험원소 & 범위
시험원소시험범위 시험원소시험범위 시험원소시험범위
공인 시험분야 KS I ISO
17294:2014		 수질-유도결합플라즈마 질량분석기- ICP-MS의 적용 Li ≥ 0.21 ㎍/L Be ≥ 0.08 ㎍/L Na ≥ 0.42 ㎍/L
Mg ≥ 0.29 ㎍/L Al ≥ 0.26 ㎍/L K ≥ 0.61 ㎍/L
Ca ≥ 1.22 ㎍/L Sc ≥ 0.15 ㎍/L V ≥ 0.11 ㎍/L
Cr ≥ 0.13 ㎍/L Mn ≥ 0.10 ㎍/L Fe ≥ 0.22 ㎍/L
Co ≥ 0.15 ㎍/L Ni ≥ 0.17 ㎍/L Cu ≥ 0.09 ㎍/L
Zn ≥ 0.26 ㎍/L Ga ≥ 0.18 ㎍/L Ge ≥ 0.14 ㎍/L
As ≥ 0.17 ㎍/L Se ≥ 0.30 ㎍/L Rb ≥ 0.11 ㎍/L
Sr ≥ 0.19 ㎍/L Y ≥ 0.16 ㎍/L Zr ≥ 0.07 ㎍/L
Mo ≥ 0.12 ㎍/L Ag ≥ 0.10 ㎍/L Cd ≥ 0.16 ㎍/L
In ≥ 0.17 ㎍/L Sn ≥ 0.08 ㎍/L Sb ≥ 0.08 ㎍/L
Cs ≥ 0.19 ㎍/L Ba ≥ 0.21 ㎍/L La ≥ 0.18 ㎍/L
Ce ≥ 0.17 ㎍/L Pr ≥ 0.21 ㎍/L Nd ≥ 0.19 ㎍/L
Sm ≥ 0.21 ㎍/L Eu ≥ 0.20 ㎍/L Gd ≥ 0.16 ㎍/L
Tb ≥ 0.18 ㎍/L Dy ≥ 0.18 ㎍/L Ho ≥ 0.19 ㎍/L
Er ≥ 0.19 ㎍/L Tm ≥ 0.19 ㎍/L Yb ≥ 0.19 ㎍/L
Lu ≥ 0.17 ㎍/L Hf ≥ 0.12 ㎍/L W ≥ 0.11 ㎍/L
Re ≥ 0.17 ㎍/L Tl ≥ 0.18 ㎍/L Pb ≥ 0.17 ㎍/L
Bi ≥ 0.18 ㎍/L Th ≥ 0.20 ㎍/L U ≥ 0.17 ㎍/L
국립환경과학원고시
제 2021-93호
(2021.12.17)		 수질오염공정시험기준 ES 04400.4c
금속류-유도결합플라즈마-질량분석법		 Cr ≥ 0.13 ㎍/L Mn ≥ 0.10 ㎍/L Ni ≥ 0.14 ㎍/L
Cu ≥ 0.09 ㎍/L Zn ≥ 0.32 ㎍/L As ≥ 0.17 ㎍/L
Se ≥ 0.30 ㎍/L Cd ≥ 0.16 ㎍/L Sn ≥ 0.08 ㎍/L
Sb ≥ 0.08 ㎍/L Ba ≥ 0.21 ㎍/L Pb ≥ 0.17 ㎍/L
KS C IEC62321-5 : 2014 전기전자 제품에서 특정 물질의 정량 - 제5부 : ICP-MS에 의한 폴리머와 전기전자 부품에서 카드뮴과 납 및 크로뮴의 분석과 금속에서 카드뮴과 납의 분석 Cd ≥ 0.1 mg/kg Pb ≥ 0.1 mg/kg Cr ≥ 0.1 mg/kg
ICP-MS
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